3 d光学分析集成成像和精确的速度和测量,这是不可能与接触技术,如原子力显微镜(afm)或手写笔分析器。
三维光学分析器用于亚微米等一系列测量纳米级表面粗糙度和multi-millimeter一步高度。
光学分析器通常设计一套复杂的光学显微镜提供优秀的成像和双重的好处不接触测量表面。他们使用几个光源通常与高亮度led灯样品和先进的摄像头捕捉图像转换为高度信息使用干涉法或共焦显微技术。
光学分析器目前部署在一些高科技行业,材料的表面性质进行了研究。亚博网站下载描述先进的半导体封装、太阳能电池板、高亮度发光二极管,和微流体设备的应用程序,使用这种技术。
图1所示。的ζ-20年使用Grasshopper3和生产真彩色三维光学图像与多模式光学技术
图2。ζ-20年和图像样本
改善图像捕获启用新技术和更低的成本
介绍了Zeta-20最近。Zeta-20设计基于专利光学技术,即ZDot™,允许捕获和研究图像很难测量表面的方式不可行与传统技术如激光共焦显微镜或干涉。
这些表面包括多层、透明的表面,那些低对比度和low-reflectivity或高粗糙度。
Zeta-20光学分析器功能固体光学底座螺纹孔有提供灵活性,用户位置任何样本研究几个客观的镜头。使用一系列的镜头的放大,用户可以看到影响样品的视野得到使用仪器。景深也可以可视化,变化的数值孔径所使用的实际目标。
样本的三维图像是由使用高强度照明白光LED光源,以确保样品的颜色保留。样本之间的相对距离和物镜与用户选择的改变,由PC控制通过几个预先确定的步骤和精度闭环z驱动器有线性和旋转编码器。
ζTencor 20使用明亮的led
在每一个阶段,一个点模式是由一个专门设计的电子模式发生器和投影物镜的焦平面上,使用灰色Grasshopper3 GS3-U3-28S5C 2.8像素颜色相机,捕捉图像的样本。
然后删除模式从仪器的焦平面和第二个样本被相机捕获的图像。两集图像传输到PC在USB3视觉界面的图像进行了分析使用专有软件算法来形成一个2 d合成图像和真实颜色样品的3 d图像。由于系统确定当点模式是在集中在样例中,据悉,样品也将受到关注。方法允许精确和一致的3 d成像在几乎所有样品无论其形象的对比。
图3。高强度的白光led保存样品的颜色
ζ3 d使用Grasshopper3相机
副总裁,在解放军的特别项目,Ken Lee表示,灰色点相机的基本构建块Zeta-20 3 d光学分析系统。相机在串联工作与公司的专利ZDot模式发生器,使样本图像能够被仪器分辨率1920 x 1440像素,使客户能够观察样本特征的空间分辨率低于0.5µm。
图4。Grasshopper3,索尼ICX674 CCD, 2/3”, 4.54µm, 26岁1920 x 1440 FPS
软件分析
获取样本的三维图像的光学分析器,一个基于windows软件包为用户提供3 d图像的示例中,一个二维合成图像和一个窗口在研究样本的结果使用工具软件包可以观察到屏幕上。分析工具使阶梯高度测量样品表面并帮助确定执行的差异之间的平均高度在样品表面两个位置。
软件还可以确定样品材料的表面粗糙度。表面粗糙度是一个关键参数为研究材料的表面,因为它会影响它们的属性。
自从ζ3 d光学分析器可以几乎任何表面上测量,振动不敏感,并允许测量用共焦显微镜或干涉仪是不可能的。它还被广泛采用的主要大学和研发实验室,弗劳恩霍夫研究所和大学像NIST,耶鲁大学,麻省理工学院和普渡和LED、太阳能和全球半导体公司。
图5。的ζ-20能够测量多个维度,包括2 d和3 d粗糙度,micro-CMM、膜厚度、高度,墙角度等等
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