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XEI Scientific Inc.宣布在MO中的圣路易斯举行的显微镜和微观分析2017年会议上发布Evactron®E50。Evactron E50为所有制造和型号的SEM和FIB设计设计了一种新的等离子清洁方法。
来自Xei Scientific的Evactron E50空心阴极远程等离子源使用多达50瓦，以通过空气产生流动的余辉清洁，从用涡轮分子泵操作的真空室中除去碳化合物。独特的新系统从任何真空级别都有即时点火。紧凑且强大，它采用50瓦中空阴极电极生产等离子体。大多数商业上可获得的远程等离子体源专为半导体设备设计，因此通常被降低用于其他真空系统的等离子体清洁。app亚博体育Evactron系统专门设计用于安全地清洁电子显微镜。在几分钟内清洁这种高速率过程，除去在环境空气，系统组装，真空实践不良等期间去除碳。除去碳速度的去除时间，改善了仪器性能，并通过光学器件和其他敏感的带电粒子束停止碳沉积表面。
谢晓的等离子体研发团队设计了具有50瓦清洗功率的E50系统，提供快速、可靠的高性能清洗。关键的射频发生器和阻抗匹配单元使用在XEI的全功能真空净化器。流动的余辉提供了高氧自由基浓度的快速清洁，由于在2-20毫微托区域更长的平均自由路径。一个固定的输入气体流量消除了压力表和可变气体流量阀门和控制的需要。独特可靠的等离子体自由基源已申请专利。CE、NRTL、Semi-S2和RoHS认证正在审核中。
前面板仅具有一个控制：开/关开关，可打开腔室中的RF功率和气流以启动清洁等离子体。如果需要，可以使用与平板电脑的蓝牙连接设置清洁时间，循环清洁和功率电平。使用本机需要安装在真空室（KF40或CF 2.75凸缘），真空和施加的功率上，并导通等离子体。
目前，XEI已在全球销售超过2600套真空系统，解决了许多不同环境下的低真空和高真空污染问题，包括电子显微镜、光纤联用仪和其他真空样品室。每个系统都有5年的有限保修。2017年8月6日至10日，在美国密苏里州圣路易斯举行的第75届显微和显微分析年会上，谢晓的最新发明E50将展出。