XEI Scientific将配备Evactron®Easy Plasma SoftClean（EPSP）和EP远程等离子体去污器™, 在M&M 2016上展示远程等离子清洗和自由基重组率海报

从XEI科学2016年7月21日

加入我们XEI科学公司。在1108号展位参观带EP等离子去污染器的真空吸尘器Easy Plasma SoftClean (EPSC)，这是我们的真空吸尘器等离子去污染器系列的最新型号显微镜与微量分析2016年会议发生在哥伦布会展中心在里面哥伦布，俄亥俄州在2016年7月24日至28日.

这个Evactron EP等离子体去污器是用于SEM/FIB室、负载锁或样品制备室的紧凑、高性能但简单的等离子体清洁剂。
Evactron EP去污器的特点包括：

高能空心阴极等离子体
流经供气管
等离子体自由基源设计最大限度地将自由基传递到室中
流行音乐™ 等离子体点火在低于100Pa或750 mTorr的所有压力下工作
低压操作@1-3 Pa，自由基寿命长，清洗速度快
能在与涡轮分子泵兼容的压力下启动和运行吗
固定匹配提供最大等离子功率传输

XEI的创始人和总裁Ronald Vane将在2016年M&M上展示他的海报“Remote Plasma Cleaning and Radical Recombination Rates”。这张海报，#208，将包括距离和几何形状对自由基重组率和清洗效率的影响的数据。海报展示将在仪器仪表方面的进展在七月二十七日^th在下午三点.

联系Dan Kleinen，在展会上安排私人约会：(电子邮件保护)

引用

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美国心理学协会
XEI科学公司。（2019年，2008年2月）。XEI Scientific将配备Evactron®Easy Plasma SoftClean（EPSP）和EP远程等离子体去污器™, 在M&M 2016上展示远程等离子清洗和自由基重组率海报。亚速姆。于2021年10月4日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=46043.
MLA
XEI科学公司。“XEI Scientific将配备Evactron®Easy Plasma SoftClean（EPSP）和EP远程等离子体去污器™, 在M&M 2016上展示远程等离子清洗和自由基重组率海报”。亚速姆. 2021年10月4日.
芝加哥
XEI科学公司。“XEI Scientific将配备Evactron®Easy Plasma SoftClean（EPSP）和EP远程等离子体去污器™, 在M&M 2016上展示远程等离子清洗和自由基重组率海报”。AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=46043。(2021年10月4日生效)。
哈佛大学
XEI科学》2019。XEI Scientific将配备Evactron®Easy Plasma SoftClean（EPSP）和EP远程等离子体去污器™, 在M&M 2016上展示远程等离子清洗和自由基重组率海报. 亚速姆，查阅日期：2021年10月4日，//www.washintong.com/news.aspx?newsID=46043.