研究太阳能材料亚博网站下载

本文讨论了研究由丹尼尔•Meysing在化学和生物工程系博士生在科罗拉多矿业学院的金色,科罗拉多。他的研究小组研究了化学和能量利用射频磁控溅射族化合物的化合物薄膜太阳能电池。500年的希登EQP用于这项工作。

太阳能材料的研究

溅射沉积族化合物化合物通常被认为是“黑盒”,输入参数(溅射功率、环境组成和压力)控制,和这部电影属性(光传输、电导率和成分)确定没有深入了解的过程。研究工作的目的是开发一个更大的知识溅射中的某些复杂的机制,影响薄膜的光电性质。

能同时容纳六溅射枪支sputter-up溅射室配置,或Sputter-Plasma诊断(SPD)工具(图1)。500年希登EQP分析仪安装在一个旋转法兰,可以定位正常或离轴溅射靶,并接近或远离目标,使用z轴运动。使用政权在不同压力,不同注入EQP可以安装不同直径的孔。对于这个工作,100年µm孔径用于执行分析~ 10毫托溅射压力。

图1所示。的示意图表示Sputter-Plasma诊断工具。

在最初的工作中,重点是放在plasma-generated离子能量分布(IED)在射频磁控溅射的硫化锌的纯氩(Ar)在环境条件下。参数,如压力、力量和飞行距离的年代,基于“增大化现实”技术,和锌离子,进行了研究。锌和年代相比,基于“增大化现实”技术的离子有不同的简易爆炸装置,展示一个低能的肩膀,这是由于反射在目标和潘宁电离反应。

然而,年代和锌简易爆炸装置具有支配地位的峰值,连同一个相对较小的高能的肩膀。锌和S的能量峰值在所有实例~ 1.5 eV大于基于“增大化现实”技术的高峰。不同EQP孔之间的位移和目标使考试飞行距离的影响(图2)。作为预测飞行距离增加时,到达能量离子的减少是由于增加了碰撞。类似的压力导致降低离子能量的增加。

图2。硫化锌离子能量分布扫描和基于“增大化现实”技术的概要文件是压力的函数。(一)³⁶基于“增大化现实”技术的概要文件是压力的函数;(B)^66年锌概要文件是压力的函数;(C)³²年代,³⁶基于“增大化现实”技术,^66年锌IED峰值位置作为飞行距离的函数;(D)³²年代,³⁶基于“增大化现实”技术,^66年锌IED峰值位置的函数的压力。

未来的研究

未来的研究将集中在研究氧合并的时候反应溅射的cd和硫化锌环境啊₂基于“增大化现实”技术。氧合并发生通过替换和/或与硫反应。在2014年的落基山美国真空学会研讨会在丹佛举行,科罗拉多州,研究小组海报题为“能量分辨四极质谱在IIB-VIA溅射调查”获得了第三的位置。

这些信息已经采购,审核并改编自希登分析提供的材料。亚博网站下载

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