诺森MARCH是诺信(NASDAQ: NDSN)等离子体处理技术的全球领导者，其TRAK™技术产品系列采用FlexTRAK-S™大容量等离子体系统，用于先进的半导体和电子封装。
5.5升等离子室具有高功率RF发生器，更好的真空电导，因此FlexTrak-S以相同的一致等离子体处理均匀性，效率和短循环时间作为较小的版本进行。在粘合之前使用等离子体，模塑或标记为这些电子生产过程提供更清洁的表面。
FlexTRAK-S是一种高配置、高通量等离子体系统。它的通用架构，即使拉长也保持不变，可容纳两倍多的基材和多种材料处理配置，以支持各种各样的可变尺寸的形状因素，包括船、载体、Jedec/Auer®船、条带和层压板。根据吞吐量和产品形式的要求，该系统可以配置为杂志到杂志的单和多条或引线框架的处理，卷到卷，并作为一个独立的岛屿生产环境。它有一个窄的宽度(382毫米)，需要最小的地板空间。框架的设计使所有服务组件都很容易从前面访问。
该系统可配置为应用三种不同的等离子体处理模式:直接、下游和无离子。FlexTRAK-S SMART Tune™管理系统提供闭环等离子体控制，优化射频系统，最大限度地缩短调谐时间。该系统自动循环到等离子就绪状态，补偿真空压力、温度和不同批次尺寸的变化。通过一种专有的算法，在数秒内实现腔室的最大功率，该算法不断测量腔室内的前进和反射功率。
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