Ferrotec公司是全球材料、组件和精密系统解决方案的供应商，也是电子束蒸发涂层系统亚博网站下载的领先制造商，今天发布了Temescal UEFC-4900，这是一款中型超高效率电子束金属化系统，用于发射化合物半导体应用。
UEFC-4900是一个更小的系统，优化了100和150mm生产晶圆工艺，提供了Auratus™沉积工艺增强方法的所有好处，产生了近乎完美的均匀性，同时降低了高达40%的材料消耗，与传统的包衣机相比，在加工材料如金和铂上节省了大量成本。亚博网站下载
Temescal UEFC-4900是为使用电子束蒸发和提升涂层工艺的活性化合物半导体生产环境设计的。UEFC-4900采用锥形真空室，与Temescal FC-2800相比，系统的晶片容量增加了一倍。该系统还具有正在申请专利的高均匀性起飞组件(HULA)设计，该设计使用双轴运动来优化收集效率。
“在UEFC-4900中，我们将为运营100和150毫米生产线的客户带来最先进的Auratus工艺改进，传统上由FC-2800系统提供服务。从独特的腔室设计到用于晶片处理的HULA, UEFC-4900泵入速度更快，覆盖的晶片更多，与同等尺寸的FC-2800相比，每天运行的批次更多。”“但这个系统的真正力量是它的精度，产生近乎完美的均匀性，同时减少过程材料消耗高达40%。对于idm和代工企业来说，这意味着成本更低、质量更好的设备。”
Temescal UEFC-4900晶片生产能力显著提高。该系统可批量处理多达25片150mm晶圆，是Temescal FC-2800系统容量的两倍多，且占地面积和功耗类似。
由于其独特的锥形腔室和多个低温泵，UEFC-4900泵下处理压力的速度明显快于传统箱型涂层机。该系统的泵送能力为39,000 L/秒，比FC-2800更快达到5E-07 Torr，减少了系统到达处理压力时的生产时间损失，并增加了每天可以运行的批次数量。
该系统采用了Temescal公司的Auratus沉积过程增强方法。Auratus是一种用于发射电子束蒸发涂层的专有优化方法，它结合了正在申请的专利技术，以达到前所未有的均匀度、精度和收集效率水平。Auratus使Temescal系统用户能够在晶圆上涂上近乎完美的均匀性，从而使产品更加一致，质量更好，缺陷更少。Temescal的Auratus方法还能够提高有效沉积速率，使客户能够提高吞吐量。
有关Ferrotec公司的UEFC-4900、Auratus和其他Temescal系统产品的更多信息，请浏览以下网站www.temescal.net．
更多关于Ferrotec
Ferrotec Corporation (JASDAQ: 6890 (OTC))成立于1980年，是为企业和产品提供材料、组件和精密系统解决方案的全球领导者。亚博网站下载
Ferrotec的Temescal部门是电子束蒸发涂层系统的领先制造商。有关Ferrotec产品的更多信息，请访问该公司的网站:www.ferrotec.com．
来源:http://www.ferrotec.com/