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EV集团推出EVG150自动抗蚀剂处理系统

通过他的托马斯2012年9月6

EV集团是一家为半导体、纳米技术和MEMS行业提供光刻和晶圆键合工具的公司，该公司推出了重新设计的、自动化的、大容量涂布机，EVG150抗蚀剂加工平台。

下一代涂层平台是一种通用处理系统，将旋转涂层模块与EV集团专有的喷涂技术结合在一起。

EVG150是利用EV集团在喷涂和抗涂层技术方面15年的专业经验开发的。EV集团的电阻生产线适用于直径300mm以下的晶圆。evg150平台是该产品线的一部分，适用于直径为50至200毫米的晶圆。新的平台便于冷板、两组热板和湿法工艺最多四个模块的蒸汽源模块的组合。EVG150可以进行喷涂、旋转喷涂和起飞。增强的可服务性和减少停机时间是其模块化安排的结果。采用电动汽车集团计算机集成制造(CIM)框架作为软件平台，对EVG150平台的吞吐量进行优化。

EV集团的OmniSpray技术通过其超声波喷嘴使高表面形貌涂层均匀。该技术已在EV集团的100多个客户现场实施。EVG150平台也集成了OmniSpray模块。EVG150的另一个模块选项是具有专利技术的NanoSpray技术，该技术能够覆盖垂直侧面角度的表面。

来源:http://www.evgroup.com/

写的

他的托马斯

加里毕业于曼彻斯特大学，获得地球化学一级荣誉学位和地球科学硕士学位。亚博老虎机网登录在澳大利亚矿业工作后，加里决定放弃他的地质工作，转而从事写作。当他没有开发出具有话题性和知识性的内容时，人们通常会发现加里在弹他心爱的吉他，或者看着阿斯顿维拉队从胜利的边缘死里滑出。

引用

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美国心理学协会
电动汽车集团。(2019年,09年2月)。EV集团推出EVG150自动抗蚀剂处理系统。AZoM。于2021年8月1日从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=34040检索。
MLA
电动汽车集团。“EV集团推出EVG150自动胶料处理系统”。AZoM．2021年8月1日。< //www.washintong.com/news.aspx?newsID=34040 >。
芝加哥
电动汽车集团。“EV集团推出EVG150自动胶料处理系统”。AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=34040。(2021年8月1日生效)。
哈佛大学
EV组。2019。EV集团推出EVG150自动抗蚀剂处理系统．viewed september 21, //www.washintong.com/news.aspx?newsID=34040。