键半导体制造者Mattson技术范式EEtch系统

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这是向该半导体制造商提供的第一个取料系统,该半导体制造商将使用系统复杂取料应用,包括前沿模式乘法插件以开发并生产先进IC英磅20-m技术节点

多模式扩展技术,如空间人定义双模式化、四倍模式转移和双模式转移为IC制造者提供比浸入式平面图现有限值更小的替换物,成本比当前实验极紫外平面图低尽管如此,多模式嵌入提高微博生产设施总体刻入成本

等离子产品集团副总裁兼总经理Rene George表示,公司推力系统帮助芯片制造者控制不断增长的卷发生产成本,这是他们在开发先进技术节点时面临的关键问题之一。自产业转向多模式嵌入作为缩放精密设备主要驱动器以来,干取作用在模式缩水中至关重要范式E专用等离子源促进公司创新二维机房设计高级推分性能高级取值性能和双交换室设计效率的组合帮助客户实现30%自有成本下降

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源码 :http://www.mattson.com

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