Plasma Therm有限责任公司，一家等离子工艺设备的全球供应商，很高兴地宣布向北美领先的无线化合物半导体制app亚博体育造商出售另一种用于蚀刻和沉积的多室VERSALINE生产系统。
该工艺模块包括一个电感耦合等离子体(ICP)蚀刻器，可通过形成增加先进的背面砷化镓的容量。第二个模块采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，用于高可控、低损伤、低应力的氮化硅沉积，适用于电容器和钝化等苛刻的应用。每个工艺室都包括Plasma-Therm的EndPointWorks技术，通过蚀刻产量和实时膜厚监测确保最大限度地提高蚀刻效率。这些订单补充了在这个地点安装的Plasma-Therm VERSALINE和Versalock设备。app亚博体育
“Plasma Therm多年来一直是无线芯片制造商的整体设备供应商。app亚博体育基于可靠、卓越性能历史的重复订单确认了我们为具有挑战性的化合物半导体制造问题提供卓越解决方案的能力，”营销高级副总裁Ed Ostan解释道。“我们的无线设备制造客户被我们跨越蚀刻和沉积工艺的技术的广度和深度以及我们与客户的合作努力所吸引，以确保最大价值。”
关于Plasma-Therm
plasma - therm是一家美国的先进等离子处理设备制造商(始于1974年)，专注于特种半导体市场，包括研发、固态照明、数据存储、可再生能源、MEMSapp亚博体育、纳米技术和化合物半导体。通过各种配置，他们的系统被用于蚀刻和沉积应用。通过在北美、欧洲和亚太地区的销售和服务，Plasma-Therm满足了全球客户的多样化需求。