2010年9月27日
科学家目前正在研究氦气显微镜中的新用途。
由于它不受传统电子束光刻的接近效果的限制，因此氦离子技术似乎是一种新兴的替代方案，尤其是在打印更精细的功能时。两年多来，Carl Zeiss的Orion®Plus氦离子显微镜以其卓越的成像成像未涂层的绝缘样品和柔软的材料（分辨率规范<0.35nm）。亚博网站下载现在，随着猎户座仪器的越来越多的安装基础，学科和工业研发显微镜者正在扩大应用的多样性，以包括纳米制作。
研究人员在14 nm的球场上对5 nm的点进行了图案，而其他团队则在HSQ抗性中表现出了很好的L-bar线。这种新的模式保真度是由显微镜的巨大景深以及离子启动的典型抗性材料启动的二次电子的短范围来实现的。亚博网站下载在没有常规的狭窄过程窗口约束的情况下，可以轻松地获得HSQ中的氦离子定义模式，通常通常与常规的光学和电子束光刻相关。
据新猎户座客户Wei Wu称，加利福尼亚州帕洛阿尔托的HP Labs的Stan William信息和量子系统实验室的高级研究科学家说：“我们期待着进一步的研究，以进一步发展有关最小纳米最小纳米制造和成像的研究- 电子和纳米光子特征。我们将Orion仪器视为一种独特，强大的工具，它将使我们能够继续开创纪录的研究。”
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