2010年5月20日
TegalCorporation(Nasdaq:TGAL)是制造高级MEMS、电源ICs和光电设备专业生产解决方案创新者,今天宣布已收到乌普萨拉大学Tegal110S/DEDRIE工具订单
Tegal S/DEDRIE工具将安装在位于瑞典Upsala的Upssala大学Ongström微结构实验室亚博网站下载Ongström实验室是欧洲最高级材料科学实验室之一,是北欧国家最大的大学净化室
iliconDRIE工具订单首次TegalDRIE客户由Tegal获取,Upsala大学进行了彻底竞争评价过程,其中包括silconDRIE和二电DRIE应用
收到乌普萨拉大学Tegal110S/DEDRIE工具订单后,大学和Ongström微结构实验室历史悠久卓著,Uppsala继续在今日重要研究领域执行前沿工作,TegalCorporationDRIE产品管理员Yannick Pillou引领二维电机机机和二维电机机机并在同一处理室提供两种应用,满足Upsala对DRIE工具机求技术需求并给Upsala极值
Tegal S/DEDRIE系统是一个高密度等离子拉工具,内含等离子堆和磁性等离子工具可运行Tegal专利SHARP-超高频比进程,在生产环境实现reched特征比>100:1Tegal 110S/DE系统最能嵌入MEMS/MOEMS、生物技术和高压市场中的硅和二电膜TegalDRIE工具目前在全世界许多研发实验室使用,同时参与商业和学术研究程序,并存于MEMS铸造厂和全世界其他专用商业高容量制造线中
源码 :http://www.tegal.com/