2004年7月29日
Veeco仪器公司。今天宣布，该公司已经从一家领先的无线设备制造商那里收到了GEN2000(TM)分子束外延(MBE)系统的多个系统订单。该7x6”晶圆GEN2000系统将用于生产用于无线手机和无线局域网(wlan)的功率放大器和射频集成电路(rfc)的高级复合半导体。该订单是在Veeco最近完成的第二季度收到的。
Veeco Compound半导体集团高级副总裁兼总经理Marlin Braun评论道:“我们很高兴Veeco的大容量GEN2000 MBE系统继续成为MBE生产应用的首选工具。”
GEN2000是世界上唯一合格的7x6”MBE系统。它采用了在硅行业久经考验的集束工具晶圆处理架构。这种创新设计使GEN2000系统能够提供更高的吞吐量、更长的系统正常运行时间和更低的单片成本，占用的空间比同类MBE系统少50%。GEN2000是业界大批量生产砷化镓(GaAs)集成电路的首选系统。
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