2008年7月8日
今天宣布的麦哲伦™的家庭,范公司引入了一个新类的仪器称为极端高分辨率扫描电子显微镜(XHR sem)。麦哲伦XHR SEM允许科学家和工程师快速看到之前看不到的东西,比如三维表面图像在许多不同的角度和决议一个纳米以下(大小的十个氢原子,并排)。最重要的是,麦哲伦XHR SEM图像样本以非常低的光束能量,避免扭曲,否则引起的光束穿透到下面的材料。
极端的高分辨率扫描电子显微镜(XHR sem)从范。
“麦哲伦XHR SEM范以来最重要的电子光学创新引入了泰坦™家庭三年前,”罗伯Fastenau博士说,范的执行副总裁,市场营销和技术。“麦哲伦在类本身,就像泰坦是透射电子显微镜,我们创新Helios nonalab™家庭DualBeam™系统。麦哲伦是唯一的家庭工具使事实上分辨率可访问在一个没有限制的非专家和实际意义samples-constraints之前有限的效用和接受其他系统。性能基准测试的类别,麦哲伦是另一个演示范承诺的高性能解决方案的领先创新者在我们所有的市场。”
事实上决议在科学研究和工业研发临界值。此外,它是一个绝对的要求在发展过程中,监测和控制应用于先进的半导体制造。麦哲伦家族这种能力扩展到应用程序,这些应用程序在以前不可能或不切实际的常规扫描电镜,透射电子显微镜(TEM)或聚焦离子束(FIB)系统。
例如,能够提供事实上在范围广泛的光束能量分辨率,小于1伏特(kV)到30 kV,让半导体制造商看到关键的细节在下面32 nm节点和复杂的三维结构,以前所未有的清晰度和对比度。材料科学的研究人员现在将有能力亚博网站下载生成高分亚博老虎机网登录辨率,surface-sensitive碳纳米管,纳米线和催化剂没有电充电引起的图像失真从高能量电子束。,麦哲伦家族扩展了范围的纳米成像和分析,与传统sem的速度和易用性。
麦哲伦家族的性能来源于新电子光学的集成元素,专有的电子枪技术,高精度五轴压电陶瓷阶段和高稳定平台完全可配置分析室。舞台上容易适应大样本或多个较小的样本,同时提供快速、准确的导航和无与伦比的稳定性。
麦哲伦家族有两种模型:麦哲伦400优化科研而麦哲伦400 l是优化了半导体实验室。半导体实验室模型有一个负载制动功能,加快样品处理量,并包括一个可伸缩的固态后向散射电子探测器(下面)和S2合规工具包。两种模型有一个可选的,全环保围栏隔离工具从热声干扰,确保最佳性能而放松网站需求和设施成本做准备。麦哲伦家庭用于购买现在,最初的发货计划在2008年9月开始。