专门开发基础等离子物理研究隐藏分析等离子诊断工具范围现在扩展,并增加新的PSM等离子监视器家庭现由两种质谱计系统-PSM和EQP二类和Espion Langmuir式等离子探针组成
质谱计测量等离子体和中性物种,并用综合能源滤波测量等离子体的能量PSM系统配置提供正离子测量,EQP二号系统提供正离子测量和负离子测量综合从容分系统包括单级、双级和三级减压系统处理进程压力从毫托尔到大气采样,质量范围选项到1000amu,电离能测量到1000eV,综合磁屏蔽
Hiden EspionLangmuir探针对初级DC和RF等离子参数提供静态和休眠测量,包括离子密度、电子密度、电子温度分布和等离子体一致性探针提供可选长度达1.2M和线性运动驱动器可达0.9M探针和线性驱动操作完全可编程
系统特征最先进控件集成定时电路和子微秒响应以优化脉冲等离子进程特征