FlowVIEW Tek的在线多通道液体颗粒测量系统完全保持了微颗粒的数据精度，优化了工艺收率，大大降低了质量控制相关的成本。yabo214
-
可以根据自定义的配方自动切换多个通道
-
微颗粒和纳米yabo214颗粒可以实时监测和连续流动(大小和体积)
-
智能装配线，质量记录跟踪
-
可修改调度和报警系统
应用程序
-
在线监测水净化系统和晶圆清洗工艺-通过检查前端和后端工艺产生的微粒子和纳米粒子数量来估算产量
-
记录净化器的效率和计算滤芯的使用寿命，可以跟踪清洗室的废弃物和残留物。滤芯更换计划可以根据工艺的颗粒大小和污染程度进行修改。
-
可应用于化学液体或去离子水，有效保证保养调度，如室清洗，耗材更换等，提高良率和清洁度
特性
FlowVIEW Tek深知化学液体和去离子水的纯度对晶圆清洗过程至关重要。客户可以寻求公司的帮助，以保持最准确的微粒数据。
粒子计数程序。图片来源:FlowVIEW Tek
具有精密多通道和先进的激光感应技术，FlowVIEW设计了可实现的多通道液体颗粒测量系统
半导体工业中湿法工艺的需要。
这种新技术可以集成到一台在线机器和多个采样点中。它可以每天24小时检测化学液体和去离子水，但不会造成任何形式的干扰以返回实时数据。
用户现在可以轻松地了解微颗粒计数的变化，并有效地跟踪水质和处理池，最重要的是，大大提高组件清洗程序的效率。
来源:FlowVIEW Tek
| ． |
． |
| 测量范围 |
0.03µ。m ~ 50µm |
| 公差测量 |
重合误差5% |
| 校准 |
NIST-Traceable |
| 通信方式 |
RS485 / Modbus 4 ~ 20 mA |
| 亚博网站下载外箱/管/取样接口材料 |
不锈钢/ PFA/石英 |
| 导致信号 |
检测到电源/错误/系统正常/问题 |
| 取样温度/压力 |
0-70°c / 150 psi |
| 尺寸/重量 |
50 (L) × 42 (W) × 104 (H) CM / 60kg |