运输高毒化学品半导体制造

Challenge:Vacum-ight存储和运输极毒化学品

高位有毒化学物半导体制造过程常使用提供这些化学品的化工厂必须确保存储系统有吸尘密封器存储并运输产品到半导体处理点

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单项应用中受真空和正压的化学容器(容器)需要耐用漏紧闭由于化学多变性,塑料弹性体和弹性体封印不适宜应用

解析性:高精度金属密封电路^®DELTA系统

面向此特殊应用黑夫列斯^®DELTA密封归为最优解决办法内含两小岭或海豹脸上的Delta赫里索夫列斯^®DELTA完美选择,原因是密封轨高触应力,使它完全适合超高吸尘应用,需要极低Helium泄漏率

自2000年首次通过资格测试后,HELSIOFLEX^®DELTA自那以来实现Helium泄漏紧凑性,用于真空和正压条件和回收解决技术元件每年向满足客户提供数千枚精密金属封条,因为对半导体处理的需求继续增长

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