使用3D重建用于金属表面的质量控制

由...赞助Tescan USA Inc.2018年3月12日

质量控制和测试是平滑反射表面制造过程中的重要组成部分。研究表面以寻找腐蚀，裂缝，杂质，凹痕和毛孔的迹象。一种局部腐蚀形式，称为斑点，导致形成微小的腔体，可以在表面深处生长。

在本文中，与Alicona MEX 3D计量软件集成的扫描电子显微镜VEGA3用于表面检查和评估Atacama大毫米阵列（ALMA）望远镜的反射性表面样品中的斑点。

程序

可以通过稍微倾斜电子束或允许更宽的角度视图来从不同角度观点获得样品的一系列图像。尽管前者适合短期工作距离和相对平坦的样品，但后者可实现成像地形样品和较大的工作距离。该软件随后使用收集的图像恢复每个观察到的点的空间坐标，因此可以重建样品表面的真实3D模型。可以使用数据集测量样品的粗糙度，轮廓，体积，面积和Z”高度。这些功能可以为表面质量控制应用测量地形伪像。

在这里，伪影是由于不完美的镍和金涂层而发生的。进行了表面重建和3D测量，以评估点蚀的深度，并确定损坏是否达到主要材料。

结果

在图1中所示的缺陷的轮廓后，重建了2（图3、4），将其深度确定为约5μm（图5）。这意味着对于这类缺陷而言，合适的限制为0.1μm。

使用3D重建用于金属表面的质量控制

进一步的评论

可以使用能量分散X射线微分析（EDS）。EDS技术可用于准确确定受斑点影响的层。3D表面重建不限于金属表面，并且可以在许多其他应用中成功使用。

能量分散X射线微分析（EDS）。

致谢

非常感谢Frentech Aerospace S.R.O.用于提供反射表面的样品。

Tescan USA Inc.

Tescan由特斯拉的一组经理和工程师创立，其电子显微镜历史记录从1950年代开始，如今，Tescan是全球著名的聚焦离子束工作站的供应商，扫描电子显微镜和光学显微镜。Tescan的创新解决方案和与客户的合作性质在纳米和微技术领域赢得了领先地位。该公司很荣幸能与一系列科学领域的著名机构一起参加主要的研究项目。Tescan就价值，质量和可靠性为客户提供了领先产品。Tescan USA Inc.是Tescan Orsay Holdings的北美部门，该公司由捷克公司Tescan合并成立，Tescan的合并是SEMS和专注的离子Beam Workstations的全球领先供应商，法国公司Orsay Physics，是定制定制的世界领导者聚焦离子束和电子束技术。

此信息已从Tescan USA Inc.提供的材料中采购，审查和改编。亚博网站下载

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Tescan USA Inc. 2019。使用3D重建用于金属表面的质量控制。Azom，2021年8月28日，https：//www.washintong.com/article.aspx?articleId=15346。